H2 Annealing에 의한 Tunnel FET Inverter의 전기적 특성 변화
Conference
The 24th Korean Conference on Semiconductors (KCS)
Author
강수철, 노진우, 임동환, 김승모, 임성관, 최창환, 이병훈
Year
2017
Date
2017
학회구분
Domestic
File
2017_KCS_KSC.pdf (879.8K) 0회 다운로드 DATE : 2021-04-02 14:36:32