Highly Manufacturable 45nm LSTP CMOSFETs Using Novel Dual High-k and Dual Metal Gate CMOS Integration
- Conference
- Proc. of symposium on VLSI technology, p.10
- Author
- S. C. Song, Z. B. Zhang, M. M. Hussain, C. Huffman, J. Barnett, S. H. Bae, H. J. Li, P. Majhi, C. S. Park, B. S. Ju, , H. K. Park, C. Y. Kang, R. Choi, P. Zeitzoff, H. H. Tseng, B. H. Lee, and R. Jammy
- Year
- 2006
- Date
- 2006
- 학회구분
-
International
S. C. Song, Z. B. Zhang, M. M. Hussain, C. Huffman, J. Barnett, S. H. Bae, H. J. Li, P. Majhi, C. S. Park, B. S. Ju, , H. K. Park, C. Y. Kang, R. Choi, P. Zeitzoff, H. H. Tseng, B. H. Lee, and R. Jammy, “Highly Manufacturable 45nm LSTP CMOSFETs Using Novel Dual High-k and Dual Metal Gate CMOS Integration”, Proc. of symposium on VLSI technology, p.10, (2006).