Dipole Moment Model Explaining nFET Vt Tuning Utilizing La, Sc, Er, and Sr Doped HfSiON Dielectrics
Conference
Symp. on VLSI Tech
Author
P. Sivasubramani, T. S. Böscke, J. Huang, C. D.Young, P. D. Kirsch, S. A. Krishnan, M. A. Quevedo-Lopez, S. Govindarajan, B. S. Ju, H. R.Harris, D. J. Lichtenwalner, J. S. Jur, A. I. Kingon, J. Kim, B. E. Gnade, R. M. Wallace, G. Bersuker, B. H. Lee, and
