저온 성장된 ZrO2 MIM 커패시터의 전기적 특성 향상 방법에 관한 연구
Conference
The 29th Korean Conference of Semiconductors (KCS)
Author
김승모, 이준호, 이용수, 이호인, 김시현, 권희진, 이해원, 황현준, Surajit Some, 이병훈
Year
2022
Date
2022
학회구분
국내
File
KCS2022_김승모.pdf (403.0K) 1회 다운로드 DATE : 2022-04-29 16:28:10