Green laser를 이용한 ALD-HZO 강유전체 특성 구현 연구
Conference
The 30th Korean Conference of Semiconductors (KCS)
Author
김승모, 김기성, 추형석, 김민재, 이해원, 황현준, 이병훈
Year
2023
Date
2023
학회구분
Domestic
File
2023_KCS_김승모.pdf (396.4K) 1회 다운로드 DATE : 2023-03-20 14:16:25